一種基于鈮酸鋰?硅晶圓的高速低壓電光調(diào)制器,硅晶圓位于鈮酸鋰晶圓上方,通過刻蝕硅波導(dǎo),形成鈮酸鋰?硅混合波導(dǎo),通過改變硅波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)使得光波在鈮酸鋰?硅混合波導(dǎo)中具有不同的能量分布。當(dāng)硅波導(dǎo)中具有更多的能量分布時,適用于實現(xiàn)緊湊的分波功能、合波功能與熱光調(diào)制功能;當(dāng)鈮酸鋰波導(dǎo)中具有更高的能量分布時,適用于實現(xiàn)高速、低電壓的電光調(diào)制功能。本發(fā)明分別發(fā)揮了鈮酸鋰和硅材料平臺的優(yōu)勢,適用于高速低電壓的電光調(diào)制。
聲明:
“基于鈮酸鋰-硅晶圓的高速低電壓電光調(diào)制器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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