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鈦擴散鈮酸鋰光波導的制備方法

1064 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 21:07:49

本發(fā)明公開了一種鈦擴散鈮酸鋰光波導的制備方法，包括在鈮酸鋰基片表面形成一層具有導電性能的導電薄膜；利用光刻工藝在所述導電薄膜的表面形成一第一鈦條沉積窗口和光刻膠波導掩膜結構；對導電薄膜進行第一次腐蝕，在導電薄膜上對應于所述第一鈦條沉積窗口的位置處形成第二鈦條沉積窗口，所述第二鈦條沉積窗口使得鈮酸鋰基片的表面顯露于外；在鈮酸鋰基片顯露于外的表面形成一層鈦膜；將鈮酸鋰基片上的光刻膠波導掩膜結構剝離；對導電薄膜進行第二次腐蝕，得到具有鈦條擴散源的鈮酸鋰基片；將得到的鈮酸鋰基片在預設的擴散溫度及擴散時間下進行鈦擴散，完成鈮酸鋰光波導的制備，光波導的成品質量成品率高。

聲明：

“鈦擴散鈮酸鋰光波導的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)