本申請公開了一種弱相位漂移的鈮酸鋰波導,包括鈮酸鋰層、金屬電極以及基底層,所述鈮酸鋰層包括鈮酸鋰中心脊和向鈮酸鋰中心脊兩側(cè)延伸的鈮酸鋰延伸面,所述鈮酸鋰中心脊的上表面設(shè)有金屬氧化物層,所述基底層位于所述鈮酸鋰層的下表面,所述基底層由硅,二氧化硅,硅和二氧化硅多層材料或者二氧化硅、金屬與硅的多層材料制成,以此進一步達到達到抑制相位漂移的目的。相較于其他參雜或者其他結(jié)構(gòu),本結(jié)構(gòu)制作方法簡單,同時產(chǎn)生非常好的相位漂移抑制效果。
聲明:
“弱相位漂移的鈮酸鋰波導” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)