本發(fā)明提供一種用于
鋰電池的初晶態(tài)納米硅
負極材料的制備方法,包括以下步驟:選取導(dǎo)電薄膜材料,按照使用的等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備的載具尺寸進行裁切作為襯底材料;對襯底進行氫等離子轟擊清洗;通入氫氣、
硅烷等工藝氣體,設(shè)置合適的沉積工藝條件,在銅箔襯底上沉積制備200~1000nm厚度的初晶態(tài)納米硅負極材料。本發(fā)明提供的用于鋰電池的初晶態(tài)納米硅負極材料及其制備方法,采用
光伏行業(yè)普遍采用的PECVD設(shè)備,制備的初晶態(tài)納米硅材料的厚度均勻性以及與襯底的附著性良好,作為鋰電池的負極材料,與傳統(tǒng)的石墨負極材料比較,可以大幅度提高鋰電負極的質(zhì)量比容量等電性能指標。
聲明:
“用于鋰電池的初晶態(tài)納米硅負極材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)