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可見光波段薄膜鈮酸鋰光柵耦合器及其制備方法

1109   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:15:11
本發(fā)明為克服薄膜鈮酸鋰上可見光波段的光端面耦合中難以實現(xiàn)在任意位置進行光耦合的缺陷,提出一種可見光波段薄膜鈮酸鋰光柵耦合器及其制備方法,其中光柵耦合器中包括由下至上依次連接的硅襯底、埋氧層、鈮酸鋰薄膜層,其中,鈮酸鋰薄膜層包括周期性光柵、第一錐形波導、第二錐形波導、第一矩形波導、第二矩形波導;第一錐形波導的最寬端與周期性光柵的一端連接,第一錐形波導的最窄端與第一矩形波導的一端連接;第二錐形波導、第二矩形波導分別設(shè)置在第一矩形波導的上方,且第二錐形波導的最窄端與第一錐形波導的最窄端重合,第二錐形波導的最窄端寬度小于第一錐形波導的最窄端寬度;第二矩形波導的一端與第二錐形波導的最寬端連接。
聲明:
“可見光波段薄膜鈮酸鋰光柵耦合器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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