本發(fā)明公開了一種諧振式集成光學(xué)陀螺用多功能鈮酸鋰
芯片。本發(fā)明在鈮酸鋰波導(dǎo)基底上集成入射單元,用于對入射光起偏;相位調(diào)制單元,用于對起偏后的光進(jìn)行調(diào)制得到調(diào)制光波;第一耦合單元,用于將返回光波耦合進(jìn)探測器;第二耦合單元,用于對調(diào)制光波按一定比例分光;出射單元,用于將分光后的光起偏后輸出到后續(xù)諧振腔。采用鈮酸鋰薄膜生長技術(shù)優(yōu)化鈦擴(kuò)散鈮酸鋰波導(dǎo)的模場分布,減小其與光纖的耦合損耗;采用附加金屬層技術(shù)實(shí)現(xiàn)對輸入/輸出光偏振態(tài)的控制,減小陀螺系統(tǒng)偏振噪聲。本發(fā)明的芯片集成相位調(diào)制、偏振控制與耦合分光功能,體積小,耦合損耗小,偏振控制能力強(qiáng),有助于提高諧振式集成光學(xué)陀螺的靈敏度與穩(wěn)定性。
聲明:
“諧振式集成光學(xué)陀螺用多功能鈮酸鋰芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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