本發(fā)明涉及
鋰電池技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于鋰電池的納米氮化錫/硅
負(fù)極材料及其制備方法,所述用于鋰電池的納米氮化錫/硅負(fù)極材料的制備方法,包括以下步驟:(1)制備負(fù)載二氧化硅陣列的硅基底;(2)負(fù)載硅陣列的硅基底的制備;(3)將負(fù)載硅陣列的硅基底置于真空沉積室中,向沉積室中通入惰性氣體和氮?dú)?,開啟偏壓電源,以錫靶位靶材,在負(fù)載硅陣列的硅基底上濺射沉積氮化錫薄膜,得到預(yù)產(chǎn)物;(4)向真空沉積室中通入氮?dú)?,?00~300℃,對(duì)預(yù)產(chǎn)物進(jìn)行等離子體刻蝕,得到用于鋰電池的納米氮化錫/硅負(fù)極材料。本發(fā)明的負(fù)極材料增加了Li離子脫嵌通道,同時(shí)細(xì)化晶粒,減少Li離子脫嵌過程中副反應(yīng)產(chǎn)生,從而提高負(fù)極庫(kù)倫效率。
聲明:
“用于鋰電池的納米氮化錫/硅負(fù)極材料及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)