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鈮酸鋰薄膜脊波導端面耦合器及其制備方法

750   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 21:17:07
本發(fā)明為了克服現(xiàn)有鈮酸鋰薄膜脊波導端面耦合器耦合效率低或加工難度大的缺陷，公開了一種鈮酸鋰薄膜脊波導端面耦合器及其制備方法，其中包括襯底、設置在襯底上的絕緣層、設置在絕緣層上的鈮酸鋰薄膜脊波導層、設置在鈮酸鋰薄膜脊波導層上的氮氧化硅耦合波導層。本發(fā)明通過設置氮氧化硅材料折射率使得耦合器與錐形透鏡光纖模場匹配，能夠提高鈮酸鋰薄膜光子器件的耦合效率；提出的耦合器結構簡單，工藝難度低，制作成本低，為鈮酸鋰薄膜器件的商業(yè)化提供了一種有效的解決耦合問題的方案。
聲明：
“鈮酸鋰薄膜脊波導端面耦合器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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