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Z切鈮酸鋰錐形波導及其制備方法

660 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 21:20:56

本發(fā)明公開了一種Z切鈮酸鋰錐形波導及其制備方法，錐形波導的整體結構包括鈮酸鋰基底(1)、位于鈮酸鋰基底(1)+Z面上的質(zhì)子交換層(2)、以及作為高折射率錐形波導區(qū)的錐形橫向擴散區(qū)(3)；所述錐形橫向擴散區(qū)(3)由所述質(zhì)子交換層(2)中的質(zhì)子在交換過程中橫向擴散進入錐形區(qū)域的氫離子繼續(xù)向里均勻擴散形成；本發(fā)明利用質(zhì)子交換(PE)濕法刻蝕技術和退火工藝相結合，在Z切鈮酸鋰基底上制作出錐形波導，從而實現(xiàn)鈮酸鋰錐形波導制作工藝的改進和發(fā)展，推動鈮酸鋰波導器件向更加小型化、低損耗方向發(fā)展。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明制作的錐形波導能夠?qū)崿F(xiàn)模式的轉(zhuǎn)換功能，進一步降低器件的耦合損耗，提高器件的傳輸性能。

聲明：

“Z切鈮酸鋰錐形波導及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)