本發(fā)明涉及一種懸空式鈮酸鋰光波導(dǎo),選取鈮酸鋰樣品作為基材按以下面步驟操作,首先,使用能量為1兆電子伏(MeV)的氦離子(He+)束轟擊鈮酸鋰樣品,在樣品表面下方一定區(qū)域內(nèi)形成晶格損傷,形成晶格損傷的部分具有小于沒有損傷的部分的折射率,將光束限制在波導(dǎo)區(qū)域中傳播。第二步使用聚焦離子束刻蝕的方法在樣品表面刻蝕出圓形或矩形的孔洞,混合的酸溶液可以通過這些孔洞接觸到具有晶格損傷的部分并進一步把這些部分腐蝕掉,從而形成空氣隔層,懸空的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)便在鈮酸鋰樣品的表面形成了。本發(fā)明鈮酸鋰光波導(dǎo)對在其中傳播的光信號有非常好的限制作用,具有極低的傳輸損耗,可以被廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、和調(diào)制類器件。
聲明:
“懸空式鈮酸鋰光波導(dǎo)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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