本發(fā)明提供了一種鈮酸鋰電光調(diào)制器,包括襯底、基于絕緣體上鈮酸鋰薄膜(LNOI)制成的脊型波導(dǎo)、電極、電介質(zhì)(Dielectrics)以及覆蓋層。其中,鈮酸鋰薄膜置于一層微米厚度的絕緣體上,絕緣層為二氧化硅,鈮酸鋰薄膜的厚度為300?900納米。首先在鈮酸鋰薄膜上加工出脊型波導(dǎo),在脊型波導(dǎo)的兩側(cè)各設(shè)置有電極,在脊型波導(dǎo)與電極之間的區(qū)域填充有電介質(zhì)。在脊型波導(dǎo)、電極以及電介質(zhì)的上方設(shè)置有覆蓋層。電介質(zhì)的介電常數(shù)大于覆蓋層的介電常數(shù)。本發(fā)明還提供了一種制備鈮酸鋰電光調(diào)制器的方法。本發(fā)明提供的鈮酸鋰電光調(diào)制器,可在不改變波導(dǎo)和電極結(jié)構(gòu)的前提下,將半波電壓降低至原本的1/4左右,且不引入額外的生產(chǎn)成本。
聲明:
“鈮酸鋰電光調(diào)制器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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