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鈮酸鋰平面波導(dǎo)上的光電探測器及制備方法

988   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:27:36
本公開提供了一種鈮酸鋰平面波導(dǎo)上的光電探測器及制備方法,自下而上分別包括鈮酸鋰平面波導(dǎo)本體、硅薄膜和叉指電極,所述鈮酸鋰平面波導(dǎo)本體自下而上依次包括鈮酸鋰襯底、二氧化硅層和鈮酸鋰薄膜,通過異質(zhì)集成非晶硅薄膜的方式在LNOI上制備光電探測器,通過端面耦合的方法將光耦合到鈮酸鋰單晶薄膜中,利用光電探測器實(shí)現(xiàn)了對波導(dǎo)中傳播光的探測,其暗電流低,制備簡單,為LNOI上集成光芯片的實(shí)現(xiàn)探索了道路。
聲明:
“鈮酸鋰平面波導(dǎo)上的光電探測器及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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