一種鋁酸鋰晶片的氮化方法,該方法的具體工藝包括:將經(jīng)過(guò)化學(xué)機(jī)械拋光的具有較好表面的鋁酸鋰晶片放入馬弗爐的石英管或鋼管中,打開(kāi)氮化源氣路,調(diào)節(jié)氣壓至超過(guò)大氣壓0.005-0.05MPa并在石英管流動(dòng);馬弗爐按100℃/小時(shí)的升溫速率升溫至800-1000℃,保溫5-25分鐘,然后按照100℃/小時(shí)的速率降溫至室溫;從馬弗爐取出氮化的鋁酸鋰晶片。經(jīng)本發(fā)明方法處理后,提高了化學(xué)機(jī)械拋光后的鋁酸鋰晶片的熱穩(wěn)定性和表面質(zhì)量。
聲明:
“鋁酸鋰晶片的氮化方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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