本發(fā)明提供鈮酸鋰單晶薄膜及其制作方法,制作方法包括:在原料鈮酸鋰晶圓的光學(xué)級表面上制備介質(zhì)層;穿過介質(zhì)層朝向光學(xué)級表面注入離子,離子穿透光學(xué)級表面后形成離子層,在離子層和介質(zhì)層之間形成單晶鈮酸鋰薄層;將載體晶圓與介質(zhì)層鍵合;加熱至第一預(yù)設(shè)溫度,使單晶鈮酸鋰薄層與原料鈮酸鋰晶圓分離并存留在介質(zhì)層上;加熱至第二預(yù)設(shè)溫度,第二預(yù)設(shè)溫度大于第一預(yù)設(shè)溫度。通過單晶鈮酸鋰薄層與原料鈮酸鋰晶圓分離,并牢固地位于介質(zhì)層上,以可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的光波導(dǎo)。
聲明:
“鈮酸鋰單晶薄膜及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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