一種硅?鈮酸鋰混合集成偏振分束旋轉(zhuǎn)器,包括:兩個(gè)級聯(lián)的定向耦合器,兩定向耦合器通過一個(gè)S彎波導(dǎo)級聯(lián),從而實(shí)現(xiàn)對TE和TM兩種偏振模式的傳輸和轉(zhuǎn)換,其中:第一定向耦合器包括:兩個(gè)90°的彎曲波導(dǎo),通過優(yōu)化彎曲波導(dǎo)的寬度和部分刻蝕的寬度改變兩個(gè)彎曲波導(dǎo)的等效折射率,當(dāng)滿足相位匹配條件時(shí)得到最優(yōu)解;第二定向耦合器包括:兩個(gè)寬度相等的直波導(dǎo),其級聯(lián)在由彎曲波導(dǎo)構(gòu)成的定向耦合器之后。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了鈮酸鋰薄膜與硅基光子器件的鍵合,偏振分束旋轉(zhuǎn)器是實(shí)現(xiàn)高性能硅?鈮酸鋰異質(zhì)集成光電調(diào)制器的關(guān)鍵器件,解決了調(diào)制
芯片中偏振耦合串?dāng)_的問題,能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗、大容量、大帶寬的信息互聯(lián)。
聲明:
“硅-鈮酸鋰混合集成偏振分束旋轉(zhuǎn)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)