本發(fā)明屬于電化學技術領域，具體涉及一種鋰離子電池陽極薄膜材料及其制備方法。該陽極薄膜材料為納米過渡金屬氮化物Cr1－xFexN(0＜x＜1)。該納米過渡金屬氮化物薄膜是由直流磁控共濺射反應性沉積法獲得，反應氣體為氮氣，沉積薄膜的氣體壓強為0.7～5.0Pa，濺射電流功率為30－200W，基片溫度為25℃－400℃。薄膜的粒子尺寸為150～200nm，立方晶形結構。以上述過渡金屬氮化物薄膜作為陽極材料與金屬鋰組成電池后，均存在多步放電平臺。在電壓范圍3.5－0.1V和電流密度28μA/cm2時，上述薄膜電極具有良好的充放電循環(huán)可逆性，其比容量在1000mAh/g以上，經(jīng)50次循環(huán)后無明顯的衰減，其性能優(yōu)于目前使用的各種薄膜陽極材料。