一種鐵?鋰離子對(duì)摻雜改性的高壓電系數(shù)氧化鋅基壓電薄膜及其制備方法,涉及一種高壓電系數(shù)的摻雜氧化鋅壓電薄膜的制備方法。是要解決現(xiàn)有方法無(wú)法使ZnO薄膜的壓電性能得到優(yōu)化提高的問(wèn)題。該氧化鋅基壓電薄膜材料,化學(xué)通式為Zn
1?2x(Fe
xLi
x)O。方法:一、將二水合醋酸鋅和乙醇胺溶解于乙二醇甲醚中,攪拌得到前驅(qū)體溶液;二、將九水合硝酸鐵和二水合醋酸鋰加入前驅(qū)體溶液中,攪拌得到溶液;三、將溶液陳化形成膠體;四、利用溶膠凝膠旋涂法將膠體在Si襯底上涂覆薄膜;五、熱解;六、通過(guò)重復(fù)步驟四和步驟五;七、將薄膜進(jìn)行晶化處理;八、將薄膜進(jìn)行電場(chǎng)極化處理,至室溫,得到極化后的薄膜。本發(fā)明用于無(wú)鉛壓電陶瓷領(lǐng)域。
聲明:
“鐵-鋰離子對(duì)摻雜改性的高壓電系數(shù)氧化鋅基壓電薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)