本發(fā)明公開(kāi)了一種鈮酸鋰基混合集成光纖陀螺光學(xué)
芯片,包括鈮酸鋰波導(dǎo)芯片、光源及信號(hào)探測(cè)器,其中鈮酸鋰波導(dǎo)芯片包括相互連通的第一Y分支波導(dǎo)、第二Y分支波導(dǎo)、三個(gè)90°圓弧波導(dǎo)、錐形波導(dǎo)和直波導(dǎo),錐形波導(dǎo)的寬端作為光學(xué)芯片的光輸入端口,光源正對(duì)光輸入端口,直波導(dǎo)的一端作為光學(xué)芯片的信號(hào)輸出端口,信號(hào)探測(cè)器的光敏面正對(duì)信號(hào)輸出端口;該光學(xué)芯片的制備工藝主要采用光刻的方法,結(jié)合干法刻蝕技術(shù)、鈦擴(kuò)散及退火質(zhì)子交換技術(shù)獲得;該集成芯片替代了傳統(tǒng)光纖陀螺中分立的光學(xué)器件,將光源、探測(cè)器、耦合器及調(diào)制器集成在一個(gè)鈮酸鋰基片上,提高光纖陀螺光學(xué)系統(tǒng)的集成度,從而提高光纖陀螺的可靠性和環(huán)境適應(yīng)性。
聲明:
“鈮酸鋰基混合集成光纖陀螺光學(xué)芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)