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三級蒸發(fā)高速卷對卷真空鋰薄膜生產(chǎn)裝置

1104   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:43:08
本發(fā)明提供了一種三級蒸發(fā)高速卷對卷真空鋰薄膜生產(chǎn)裝置,包括機(jī)架,所述的機(jī)架內(nèi)設(shè)置有第一隔板與第二隔板,第一隔板與第二隔板均縱向設(shè)置,所述的第一隔板與第二隔板上均設(shè)置有一個(gè)位置相對應(yīng)的窗口,所述的第一隔板與第二隔板將所述的機(jī)架的內(nèi)部依次分隔為放卷腔、第一鍍膜腔、收卷腔,基膜通過所述的窗口自放卷腔穿行至收卷腔。本發(fā)明所述的三級蒸發(fā)高速卷對卷真空鋰薄膜生產(chǎn)裝置通過三級蒸發(fā)結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)系統(tǒng)完成輸運(yùn)及蒸發(fā)鋰,改善沉積鋰薄膜的高溫度現(xiàn)象與薄膜的均勻性。
聲明:
“三級蒸發(fā)高速卷對卷真空鋰薄膜生產(chǎn)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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