本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜
鋰電池的制備方法,包括采用Al
2O
3單晶襯底為薄膜鋰電池的基底,采用DC磁控濺射將弱取向的多晶Au膜進(jìn)行沉積;采用紅外激光加熱,并在真空環(huán)境下退火;在脈沖激光沉積系統(tǒng)中,沉積LCO膜作為陰極,采用Li
1.2CoO
2的燒結(jié)陶瓷靶材;在射頻磁控濺射沉積系統(tǒng)中,采用RF磁控濺射沉積的LiPON固體電解質(zhì)層;采用常規(guī)蒸發(fā)方法將用于陽(yáng)極的金屬Li膜沉積在LiPON層上。本發(fā)明制備的薄膜電池也性能穩(wěn)定,獲得了清潔的電解質(zhì)/電極界面,避免表面污染,實(shí)現(xiàn)全
固態(tài)電池的較低界面電阻。
聲明:
“薄膜鋰電池的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)