本發(fā)明屬于鋰電池制備技術(shù)領(lǐng)域，具體提供一種基于磁控濺射原理的金屬鋰復(fù)合負(fù)極制備裝置，包括裝/取片腔和3個結(jié)構(gòu)相同的獨(dú)立濺射腔；每個獨(dú)立濺射腔能夠獨(dú)立完成磁控濺射鍍膜；裝置還包括由隨轉(zhuǎn)架及與之匹配連接的移動滑軌構(gòu)成的基片移動平臺，所述隨轉(zhuǎn)架位于裝/取片腔內(nèi)中心位置，基片通過真空鎖放入裝/取片腔內(nèi)、通過移動滑軌移動至隨轉(zhuǎn)架、在隨轉(zhuǎn)架上回轉(zhuǎn)換位并通過移動滑軌移動至任一獨(dú)立濺射腔內(nèi)。本發(fā)明復(fù)合負(fù)極材料中各個組分分別在獨(dú)立濺射腔內(nèi)完成，能夠?qū)崿F(xiàn)控制氣氛、濺射率等參數(shù)的精準(zhǔn)控制，即實(shí)現(xiàn)復(fù)合負(fù)極材料中各個組分成分比例的精準(zhǔn)控制；制備得鋰?硅?碳復(fù)合負(fù)極材料能夠獲得均勻的材料成分和強(qiáng)度，有利于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。