本發(fā)明的目的在于提供一種鉭酸鋰單晶基板,其翹曲小,無破損、瑕疵,并且溫度特性比現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)Y切割LiTaO3基板好,機(jī)電耦合系數(shù)大,而且器件的Q值高。本發(fā)明的鉭酸鋰單晶基板是使Li從晶體方位為旋轉(zhuǎn)36°Y~49°Y切割的旋轉(zhuǎn)Y切割LiTaO3基板的表面向內(nèi)部擴(kuò)散,而具有基板表面和基板內(nèi)部的Li濃度不同的濃度分布的LiTaO3單晶基板,其特征在于,該LiTaO3單晶基板被實(shí)施了單一極化處理,從基板表面到在LiTaO3基板表面?zhèn)鞑サ谋砻媛暡ɑ蛘咝孤侗砻媛暡ǖ牟ㄩL的5~15倍的深度為止具有大致均勻的Li濃度。
聲明:
“鉭酸鋰單晶基板及其接合基板、該接合基板的制造方法以及使用該基板的表面聲波器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)