一種基于鈮酸鋰薄膜材料的光柵耦合器及其制造方法,該光柵耦合器包括:基于鈮酸鋰薄膜材料的光柵耦合器,包括:絕緣體上鈮酸鋰光子
芯片以及設(shè)置于其上方的光纖,該絕緣體上鈮酸鋰光子芯片由上而下依次包括:匯聚型光柵耦合機構(gòu)、二氧化硅埋層和硅襯底。本裝置耦合效率較高且具有較大的工作波長帶寬,便于大規(guī)模集成和用于對鈮酸鋰光子集成芯片上的器件進行性能測試。
聲明:
“基于鈮酸鋰薄膜材料的光柵耦合器及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)