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濺射的鋰鈷氧化物靶

967   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-18 22:05:49
包括頂涂層(103)的濺射靶(100),所述頂涂層(103)包含鋰鈷氧化物LiyCozOx組合物,其中x小于或等于y+z,并且其中所述鋰鈷氧化物的X?射線衍射圖在44°±0.2°2?θ處具有峰P2,其中X射線衍射圖案是用具有CuKα1輻射的X射線衍射儀下測量。
聲明:
“濺射的鋰鈷氧化物靶” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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