實用新型屬于鋰離子沉積加工領域,具體的說是一種用于鋰離子生產線的旋轉式化學氣相沉積裝置,包括底座和空氣壓縮機,所述底座的上方安裝有靜電環(huán),且靜電環(huán)的上方安裝有連接塊,所述空氣壓縮機的右側安裝有連通管,且空氣壓縮機位于連接塊的上方,所述連通管的右側安裝有第一齒輪軸,且第一齒輪軸的右側安裝有第二齒輪軸,所述第二齒輪軸的右側安裝有轉動機;本實用新型通過設置有電機軸,可以配合第一轉軸和軸承,能夠保證設備在進行離子的加工時化學氣相沉積工作時更加的均勻,電極軸沿軸承的底部均勻分布,可以在進行鋰離子的旋轉時可以更加的高效,在進行化學氣相沉積時,防止離子在設備內部的堆積,有效設備的工作的效率。
聲明:
“用于鋰離子生產線的旋轉式化學氣相沉積裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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