本實用新型公開了一種自排氣鉭酸鋰單晶棒晶托,它包括基體、一體設(shè)置于所述基體任一表面中部的承料體、一體設(shè)置于所述基體表面上且圍設(shè)于所述承料體四周的多個支撐體以及設(shè)置于所述承料體上表面邊緣的熱敏膠圈,每個所述支撐體和所述承料體之間形成溝槽,所述熱敏膠圈上開設(shè)有缺口,所述支撐體上表面為由內(nèi)向外朝所述基體傾斜的斜面。這樣可以減小支撐體上表面高低不平帶來的影響,提高鉭酸鋰單晶棒的加工質(zhì)量。
聲明:
“自排氣鉭酸鋰單晶棒晶托” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)