本實(shí)用新型公開了一種超大尺寸鈮酸鋰晶體的生長裝置,包括鉑金坩堝和籽晶桿;鉑金坩堝外包覆保溫層;保溫層與鉑金坩堝之間設(shè)有硅鉬棒,硅鉬棒縱向?qū)ΨQ排列;籽晶桿穿過保溫層并深入鉑金坩堝中熔體上方;鉑金坩堝的上方設(shè)有螺旋形的水冷管,水冷管底部水平方向上的管距離大于頂部水平方向上的管距;水冷管底端水平方向上的管距大于或等于鈮酸鋰晶體的直徑;籽晶桿貫穿水冷管中央形成的空間;水冷管的底部設(shè)有進(jìn)水管、頂部設(shè)有出水管,進(jìn)水管和出水管分別貫穿保溫層與外部連通;水冷管上還設(shè)有控制水冷管上下移動的升降桿,升降桿貫穿保溫層。本實(shí)用新型能夠解決溶體對流緩慢,晶體生長界面處溫度梯度小等問題,適合8~12英寸晶圓的制備。
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“超大尺寸鈮酸鋰晶體的生長裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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