本發(fā)明涉及一種用于制備大縱橫比鈮酸鋰波導(dǎo)的化學(xué)機(jī)械拋光液,包括以下成分及質(zhì)量百分?jǐn)?shù):二氧化硅為5?50%;PH調(diào)節(jié)劑為0.1?5%;活性劑為0.02?1%;絡(luò)合劑為0.5?4%;緩蝕劑為0.01?0.6%;去離子水為余量。本發(fā)明中,化學(xué)機(jī)械拋光液選用的表面活性劑一方面可以降低表面張力,提高質(zhì)量傳輸速率,增大流動性;另一方面也對高低選擇比起反作用,容易在低處成膜,降低低處的消磨率;因而該拋光液選取了最佳濃度,既可以保證拋光液的流動性不受影響,也保證該拋光液仍具有較大的鉻,鈮酸鋰選擇比。
聲明:
“用于制備大縱橫比鈮酸鋰波導(dǎo)的化學(xué)機(jī)械拋光液” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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