本發(fā)明公開(kāi)了一種基于單晶鈮酸鋰薄膜的偏振濾波型相位調(diào)制器,可應(yīng)用于光通信、光計(jì)算、微波光子技術(shù)等,屬于集成光學(xué)領(lǐng)域。本發(fā)明器件結(jié)構(gòu)主要是鈮酸鋰薄膜(LNOI)上沉積氮化硅構(gòu)成加載條型直波導(dǎo)、直波導(dǎo)上前端做金屬銀覆層構(gòu)成具有偏振濾波功能的波導(dǎo)結(jié)構(gòu),以及在波導(dǎo)后端兩側(cè)設(shè)置相位控制電極結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可同時(shí)實(shí)現(xiàn)偏振濾波和相位調(diào)制,使整個(gè)結(jié)構(gòu)更為緊湊、高效,更有利于實(shí)現(xiàn)光路集成。
聲明:
“基于單晶鈮酸鋰薄膜的偏振濾波型相位調(diào)制器” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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