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大尺寸超薄高精度鈮酸鋰晶片加工方法

988 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 22:28:58

本發(fā)明涉及半導體材料加工技術領域，尤其是一種大尺寸超薄高精度鈮酸鋰晶片加工方法，該方法包括切片、倒角、研磨800、黑化、研磨2000和拋光步驟；所述研磨800步驟和研磨2000步驟中均采用雙面研磨機，在22℃±2℃下，研磨加壓方式采用分段緩慢加壓方式；所述拋光步驟中采用雙面拋光機，在22℃±2℃下，設備最大轉速為6?10rpm，采用SiO₂拋光液，比重為1.06?1.20，拋光加壓方式采用分段緩慢加壓方式。因加壓時采用緩慢、逐漸加壓的方式，極大減小了劃傷、碎片、裂片等情況，同時搭配本發(fā)明的夾具，可以有效地減少塌邊、爆邊、研磨不充分等情況，極大提高了生產(chǎn)的良品率，擺脫廠家半導體機臺設備應用的牽引。

聲明：

“大尺寸超薄高精度鈮酸鋰晶片加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)