可排出氫氣的
鋰電池鋁箔電極沉積
石墨烯薄膜用PECVD裝置,把真空沉積的PECVD腔體分成沉積室、氣體分離室、儲(chǔ)氫室,沉積過(guò)程使內(nèi)部的氣體流動(dòng)循環(huán),循環(huán)中通過(guò)僅可通過(guò)氫氣的氫氣濾膜過(guò)濾出氫氣并排出到PECVD腔體外,在鋁箔電極表面用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積碳形成石墨烯薄膜過(guò)程減少因氫含量過(guò)高影響石墨烯結(jié)構(gòu)形成和沉積石墨烯不均勻,屬于
電池材料設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
聲明:
“可排出氫氣的鋰電池鋁箔電極沉積石墨烯薄膜用PECVD裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)