本發(fā)明公開了一種非晶硅薄膜
鋰電池刻蝕裝置,包括機身以及設(shè)置在所述機身內(nèi)的第一滑動腔,所述第一滑動腔內(nèi)可左右滑動的設(shè)置有第一滑動塊,所述第一滑動塊前后對稱設(shè)置有左右貫穿的第一通孔,所述第一通孔內(nèi)滑動設(shè)置左右延伸的第一光桿,所述第一光桿左右兩端固定安裝在所述第一滑動腔左右端壁內(nèi),所述第一滑動塊前后端壁內(nèi)對稱設(shè)置有開口向外的第一空腔,所述第一空腔下底壁內(nèi)固定安裝有齒條;本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,通過采用機械結(jié)構(gòu)與光學結(jié)構(gòu)結(jié)合,自動進行非晶硅薄膜的刻蝕,不僅自動化程度高,而且不受非晶硅薄膜負面限制,能夠完成大批量大幅面高質(zhì)量非晶硅薄膜刻蝕,提高了刻蝕效率與質(zhì)量,提高了裝置實用性能。
聲明:
“非晶硅薄膜鋰電池刻蝕裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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