本發(fā)明公開了一種非晶硅薄膜
鋰電池,包括機(jī)身以及設(shè)置在所述機(jī)身內(nèi)的第一滑動(dòng)腔,所述第一滑動(dòng)腔內(nèi)可左右滑動(dòng)的設(shè)置有第一滑動(dòng)塊,所述第一滑動(dòng)塊前后對(duì)稱設(shè)置有左右貫穿的第一通孔,所述第一通孔內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置左右延伸的第一光桿,所述第一光桿左右兩端固定安裝在所述第一滑動(dòng)腔左右端壁內(nèi),所述第一滑動(dòng)塊前后端壁內(nèi)對(duì)稱設(shè)置有開口向外的第一空腔,所述第一空腔下底壁內(nèi)固定安裝有齒條;本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,通過采用機(jī)械結(jié)構(gòu)與光學(xué)結(jié)構(gòu)結(jié)合,自動(dòng)進(jìn)行非晶硅薄膜的刻蝕,不僅自動(dòng)化程度高,而且不受非晶硅薄膜負(fù)面限制,能夠完成大批量大幅面高質(zhì)量非晶硅薄膜刻蝕,提高了刻蝕效率與質(zhì)量,提高了裝置實(shí)用性能。
聲明:
“非晶硅薄膜鋰電池” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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