一種濺射靶組件,通過濺射靶體和背襯支撐件的相對定位來形成,使得所述背襯支撐件被放置在所述濺射靶體的內(nèi)徑內(nèi)。利用包圍所述靶體的感應(yīng)加熱器對該組合體進(jìn)行加熱,使得達(dá)到用于結(jié)合的合適溫度。加熱被中斷,使得結(jié)合的材料冷卻并且在所述濺射靶體與所述背襯支撐件之間建立結(jié)合關(guān)系。實(shí)施例包括在感應(yīng)加熱器與內(nèi)部的靶體之間添加導(dǎo)電層,所述導(dǎo)電層以導(dǎo)電織物套的形式,該靶體以在結(jié)合期間增強(qiáng)軸向和徑向梯度加熱的方式被感應(yīng)加熱。所述導(dǎo)電套可以與以LiMO
2(例如LiCoO
2)靶體的形式的低導(dǎo)電材料一起使用。還可以在所述靶體周圍放置非粘性的保護(hù)套,諸如放置在所述導(dǎo)電套與所述靶體之間。
聲明:
“形成旋轉(zhuǎn)濺射靶的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)