本發(fā)明提供用于制備無(wú)定形的硼硅酸鋰或摻雜硼硅酸鋰化合物的氣相沉積方法,該方法包括:提供化合物的各組成元素的蒸氣源,其中該蒸氣源包括至少鋰源、氧源、硼源和硅源、以及任選地至少一種摻雜劑元素的源;輸送所述鋰、所述氧、所述硼和所述硅、以及任選地所述摻雜劑元素的物流;和將來(lái)自蒸氣源的組成元素共沉積在基底上,其中組成元素在該基底上反應(yīng)以形成無(wú)定形化合物;其中無(wú)定形的硼硅酸鋰或摻雜硼硅酸鋰化合物具有在40?65原子%范圍內(nèi)的鋰含量,基于鋰、硼和硅的組合的原子百分?jǐn)?shù)計(jì)。
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