本發(fā)明描述用于制造薄膜電池的方法與混合型工廠。方法包括用于制造薄膜電池的操作?;旌闲凸S包括用于制造薄膜電池的一個或多個工具組。在實例中,用于制造鋰基薄膜電池的混合工廠架構包括用于沉積有源層的處理工具。處理工具包括用于沉積有源層的群集工具?;旌瞎S架構還包括用于沉積有源層的內(nèi)嵌工具和鋰蒸鍍工具,所述鋰蒸鍍工具具有將鋰蒸鍍工具耦接至群集工具和內(nèi)嵌工具的一個或多個手套箱。
聲明:
“用于制造薄膜電池的方法與混合型工廠” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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