本發(fā)明公開了一種高速集成可調(diào)光延時(shí)線與制備方法，其襯底材料為硅材料，波導(dǎo)材料為氮化硅光波導(dǎo)和鈮酸鋰光波導(dǎo)，鈮酸鋰材料為薄膜材料，其結(jié)構(gòu)包括2×2光開關(guān)、每階的延時(shí)線和2×1的合波器；2×2光開關(guān)由氮化硅光波導(dǎo)、多模干涉耦合器、鈮酸鋰光波導(dǎo)和開關(guān)電極組成；每階的延時(shí)線包含兩條不同長度的延時(shí)路徑，通過光開關(guān)切換選擇不同的波導(dǎo)路徑，從而進(jìn)行延時(shí)狀態(tài)的切換，實(shí)現(xiàn)不同的延時(shí)量。本發(fā)明通過將氮化硅光波導(dǎo)和鈮酸鋰光波導(dǎo)結(jié)合，延時(shí)波導(dǎo)部分采用氮化硅，充分利用氮化硅光波導(dǎo)的低損耗，開關(guān)波導(dǎo)部分采用鈮酸鋰，充分利用鈮酸鋰光波導(dǎo)光電效應(yīng)開關(guān)的高速；采用基于BCB的鍵合工藝，工藝更加靈活，不需要使用化學(xué)機(jī)械拋光工藝。