本發(fā)明提供了一種自帶反射層的高功率容量體聲波諧振器、制備方法及系統(tǒng),包括:叉指電極系統(tǒng)、薄膜;所述叉指電極系統(tǒng)包括:正電極、負(fù)電極;所述薄膜采用鈮酸鋰薄膜;當(dāng)鈮酸鋰薄膜的表面的叉指電極系統(tǒng)分別被加載正電極和負(fù)電極時(shí),交互的相鄰電極之間產(chǎn)生的水平電場(chǎng)將在鈮酸鋰薄膜中激勵(lì)起剪切波諧振;該剪切波諧振為此諧振器的主諧振模,且諧振波長(zhǎng)大約是鈮酸鋰薄膜厚度的兩倍。本發(fā)明通過采用采用叉指電極在鈮酸鋰薄膜上激發(fā)剪切波諧振,使得該諧振器的諧振頻率主要與薄膜厚度有關(guān),從而可以很容易地實(shí)現(xiàn)高頻率諧振,解決了一般聲波諧振器很難產(chǎn)生高頻諧振的問題。
聲明:
“自帶反射層的高功率容量體聲波諧振器、制備方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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