本發(fā)明公開了一種基于鎂摻雜近化學計量比鈮酸鋰單晶薄膜和單晶氧化鉭脊形波導的光調(diào)制器制作方式,所選用的基底材料是鈮酸鋰晶體,該晶片的復合結(jié)構(gòu)自下向上包括鈮酸鋰襯底,二氧化硅下包層,鎂摻雜近化學計量比鈮酸鋰單晶薄膜,單晶氧化鉭脊形波導結(jié)構(gòu),二氧化硅上包層,行波電極。本發(fā)明能夠大大降低了在光傳輸過程中的損耗,在鈮酸鋰薄膜層鎂摻雜的濃度達到抗光折變閾值,能夠?qū)Χ滩ㄩL如紅光、綠光或藍紫色光進行調(diào)制,采用二氧化硅作為上下包層,在實現(xiàn)低功耗驅(qū)動的同時降低了調(diào)制器的尺寸,提高了器件的穩(wěn)定性,具有制作工藝簡便,器件尺寸小,彎曲半徑小,穩(wěn)定性好等優(yōu)點。
聲明:
“采用脊形波導的馬赫曾德光調(diào)制器晶片結(jié)構(gòu)及其制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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