本發(fā)明公開了一種基于聲表面波的微構(gòu)件非接觸式操控裝置及方法。裝置包括鈮酸鋰晶片、波導(dǎo)基底、操控腔室和八個叉指電極,操控腔室的底面粘貼有波導(dǎo)基底,粘貼有波導(dǎo)基底的操控腔室固定安裝在鈮酸鋰晶片的中心,微構(gòu)件放置在操控腔室中,鈮酸鋰晶片上沿著操控腔室側(cè)面依次固定安裝有八個叉指電極,每一個叉指電極均與外部的信號發(fā)生器的輸出通道相連,每一個叉指電極與其下方的鈮酸鋰晶片均構(gòu)成一個聲表面波叉指換能器。方法用于實施裝置的非接觸式操控。本發(fā)明能實現(xiàn)多種模式下的微構(gòu)件可控非接觸平移、組裝以及旋轉(zhuǎn)的精準(zhǔn)調(diào)控,具有操作簡便、可控性強(qiáng)、設(shè)備簡單、非接觸以及精度高等特點。
聲明:
“基于聲表面波的微構(gòu)件非接觸式操控裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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