本發(fā)明涉及一種聲表面波元件,在鉭酸鋰單晶體或鈮酸鋰單晶體所構(gòu)成的、含氧量比化學(xué)計(jì)量比組成少的弱熱電性的壓電基板(1)上,形成氧化層(2),在其之上形成IDT電極(3)。因此,能夠消除弱熱電性的壓電基板的熱電效應(yīng)所導(dǎo)致的微細(xì)電極的靜電破壞,且不會(huì)發(fā)生頻率特性的劣化。
聲明:
“聲表面波元件及其制造方法以及通信機(jī)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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