本發(fā)明公開了一種具有鉺摻雜氧化鉭脊形結構的波導放大器制備方法，通過本發(fā)明產生的放大器包括硅襯底、二氧化硅下包層、摻鉺鈮酸鋰薄膜層、二氧化硅緩沖層、摻鉺氧化鉭脊形波導結構和二氧化硅上包層，采用硅基鈮酸鋰薄膜作為基片，利用與鈮酸鋰折射率相近的鉺摻雜氧化鉭作為脊形結構，在通信波段，通過鉺離子的放大作用，能夠彌補光傳輸和調制的過程中帶來的光損耗；相對于干法刻蝕技術，制備的脊形結構工藝成本低，成品率高，提高了器件的穩(wěn)定性，具有制作工藝簡便、器件尺寸小、彎曲半徑小、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。