本發(fā)明公開了一種三(二甲胺基)硅的合成方法，包括如下步驟，步驟一，準(zhǔn)備反應(yīng)容器并通入保護(hù)氣體；步驟二，將反應(yīng)容器冷卻至－65℃～－75℃，在反應(yīng)容器中倒入烴類溶劑，再加入有機(jī)金屬鋰化合物，保持低溫?cái)嚢?；步驟三，向反應(yīng)容器中通入二甲胺氣體，保持低溫?cái)嚢?～10小時(shí)，制得二甲胺的鋰鹽；步驟四，在保持－65℃～－75℃的低溫條件下，向反應(yīng)容器中加入三氯硅烷，加樣完成后，靜置讓其溫度緩慢回升至室溫，繼續(xù)攪拌8～10小時(shí)直至反應(yīng)完成；步驟五，反應(yīng)結(jié)束后進(jìn)行常減壓蒸餾，收集75～80℃/5～10mmHg的餾分，得到三(二甲胺基)硅；本發(fā)明降低了成本和反應(yīng)的毒性，操作簡單；反應(yīng)不需過濾，直接得到目標(biāo)化合物，純度高，很好的滿足了電子化學(xué)品對產(chǎn)品品質(zhì)的嚴(yán)苛要求。