本發(fā)明提供一種能夠抑制由于結合后熱處理造成的損傷的復合基板的制造方法及通過該方法制造的復合基板。根據(jù)本發(fā)明的復合基板的制造方法是將作為鉭酸鋰晶圓或鈮酸鋰晶圓的壓電晶圓與支撐晶圓結合在一起的復合基板的制造方法。該制造方法的特征在于將壓電晶圓和支撐晶圓結合的步驟,以及對在結合步驟中結合的晶圓進行熱處理的步驟,其中壓電晶圓的非結合表面是鏡面。
聲明:
“復合基板及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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