本發(fā)明涉及醫(yī)療器械領(lǐng)域,是一種新型硅尖微針陣列微執(zhí)行器的結(jié)構(gòu)和制作方法。一種氣囊控制的微量藥物輸送執(zhí)行器,由在硅基片一面上利用微電子機(jī)械加工工藝刻蝕出硅針陣列和微通道陣列,在硅片的另一面制作反應(yīng)室,利用PDMS作樣品或藥物的反應(yīng)室底部,PDMS隔膜與另一刻蝕有氣囊室的硅片組成氣囊,氣囊內(nèi)裝載含結(jié)晶水的氯化鋰,氣囊外沉積鉑金加熱電極,使得氣囊膨脹壓迫反應(yīng)室,使反應(yīng)室體積發(fā)生變化,實(shí)現(xiàn)微量輸送藥物的目的。
聲明:
“氣囊控制的微量藥物輸送執(zhí)行器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)