本發(fā)明公開(kāi)了一種全透明的微流控聲學(xué)體波
芯片及其制備方法。其產(chǎn)品由三塊玻璃片和一塊壓電材料構(gòu)成。三塊玻璃片自上到下堆疊構(gòu)成的駐波反應(yīng)腔,上層玻璃片利用激光開(kāi)有用于流體進(jìn)出的孔口,并在表面孔口上面鍵合一塊開(kāi)有對(duì)應(yīng)孔口的較厚的聚二甲基硅氧烷(PDMS);中層玻璃片上由激光切割穿透玻璃制備了微米級(jí)別的溝道;下層玻璃片是完整的玻璃,用于封裝腔室。壓電材料采用鈮酸鋰單晶,其上下表面均鍍上一層透明摻錫氧化銦(ITO)導(dǎo)電薄膜層并粘在諧振腔下表面,鈮酸鋰晶片兩面經(jīng)過(guò)銀漿固化引出兩根導(dǎo)線。本發(fā)明所制備的芯片完全透明,可視性極高,可用于細(xì)胞/微粒等樣本的聚集、分離和操控;本發(fā)明的制備工藝簡(jiǎn)單,成本低廉。
聲明:
“全透明的微流控聲學(xué)體波芯片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)