本發(fā)明涉及一種體聲波諧振器,包括:基底;聲學(xué)鏡空腔;底電極;頂電極;和單晶壓電層,設(shè)置在底電極與頂電極之間,其中:壓電層的下表面與基底的上表面之間設(shè)置有支撐結(jié)構(gòu),壓電層與基底大體平行布置;所述底電極的下側(cè)設(shè)置有下鈍化層,所述下鈍化層覆蓋所述底電極在所述空腔內(nèi)的表面的至少一部分;且所述下鈍化層的邊界在水平方向上處于所述壓電層的邊界的內(nèi)側(cè)。所述壓電層為單晶鈮酸鋰壓電層或單晶鉭酸鋰壓電層。本發(fā)明還涉及一種濾波器,和一種電子設(shè)備。
聲明:
“單晶壓電體聲波諧振器、濾波器及電子設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)