本發(fā)明公開了一種聲表面波濾波器及其制作方法,首先在鉭酸鋰或鈮酸鋰襯底上覆蓋一層不透光金屬層,之后利用黃光流程定義出IDT圖形,再通沉積金屬,采用剝離工藝去除光刻膠及其上方的金屬后,再將多余的不透光金屬層去除。其中不透光金屬層為粘合層時(shí),通過蒸鍍工藝沉積金屬,再利用RIE或ICP工藝去除粘合層;不透光金屬層為種子層時(shí),采用電鍍工藝沉積金屬,再利用濕法刻蝕工藝去除種子層。即可完成叉指狀金屬電極的制作工藝。本發(fā)明可避免因襯底黑化不均導(dǎo)致透光率不同,從而影響光刻結(jié)果,并且可以避免金屬殘留等問題。
聲明:
“聲表面波濾波器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)