本發(fā)明涉及一種基于壓電薄膜的雙軸微反射鏡。本發(fā)明利用類(lèi)似鈮酸鋰/鉭酸鋰的壓電薄膜特定切向的e16壓電應(yīng)力常數(shù),在這類(lèi)壓電薄膜的特定的切向上,在兩個(gè)面內(nèi)方向上擁有較高的e16,可被用于直接驅(qū)動(dòng)兩個(gè)垂直方向的振蕩軸的偏轉(zhuǎn),從而實(shí)現(xiàn)在兩個(gè)扭轉(zhuǎn)軸上較大的偏轉(zhuǎn)角。與常規(guī)的壓電微鏡通過(guò)信號(hào)相位的改變間接通過(guò)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)雙軸偏轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)不同,本發(fā)明可在振蕩軸上直接產(chǎn)生應(yīng)力作用于振蕩軸使其偏轉(zhuǎn)。并且由于所利用的兩個(gè)本征模式是相互解耦的,因此可同時(shí)實(shí)現(xiàn)兩個(gè)扭轉(zhuǎn)軸方向上各自獨(dú)立的高角度的偏轉(zhuǎn)。
聲明:
“基于壓電薄膜的雙軸微反射鏡” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)