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彈性波裝置以及多工器

1127   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:37:28
本發(fā)明提供一種能夠有效地抑制高階模的彈性波裝置。本發(fā)明的彈性波裝置(1)具備:支承基板(4),是硅基板,且面取向?yàn)镾i(111);壓電體層(7),使用了旋轉(zhuǎn)Y切割X傳播的鉭酸鋰;以及IDT電極(3)。若將由IDT電極(3)的電極指間距規(guī)定的波長(zhǎng)設(shè)為λ,則壓電體層(7)的膜厚為1λ以下。壓電體層(7)具有由極化方向決定的正面以及負(fù)面。將鉭酸鋰的晶軸(XLT,YLT,ZLT)的ZLT軸投影到支承基板(4)的(111)面的方向向量k111和硅的[11?2]方向的角度設(shè)為α111,將n設(shè)為任意的整數(shù),此時(shí),在IDT電極(3)被設(shè)置在壓電體層(7)的正面上的情況下,角度α111在0°+120°×n≤α111≤45°+120°×n的范圍內(nèi),或者在75°+120°×n≤α111≤120°+120°×n的范圍內(nèi),在壓電體層(7)的負(fù)面上設(shè)置有IDT電極(3)的情況下,角度α111在15°+120°×n≤α111≤105°+120°×n的范圍內(nèi)。
聲明:
“彈性波裝置以及多工器” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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